上海mems电容真空计 上海辰仪测量技术供应

3. 电离真空计电离真空计通过电离气体分子来测量压力，适用于高真空和超高真空范围。（1）热阴极电离真空计原理：利用热阴极发射电子电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹⁰ Torr 到 10⁻³ Torr。优点：精度高、测量范围广。缺点：热阴极易损坏，需要较高维护。应用：高真空和超高真空系统。（2）冷阴极电离真空计原理：利用冷阴极放电电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹² Torr 到 10⁻³ Torr。优点：无需热阴极，寿命长。缺点：启动时间较长，稳定性稍差。应用：高真空和超高真空系统。选择真空计的标准是什么？上海mems电容真空计

1.多种测量原理真空计有多种测量原理，如电容式、电离式、热传导式等。不同的测量原理具有不同的特点和适用范围，用户可以根据具体需求选择合适的真空计。2.易维护一些真空计的设计使得其易于维护和校准。例如，有些真空计的传感器可以更换，这使得在传感器损坏或老化时能够方便地更换新的传感器，从而延长真空计的使用寿命。3.小型化和集成化随着科技的发展，真空计正朝着小型化和集成化的方向发展。小型化的真空计更加便于携带和安装，而集成化的真空计则能够与其他设备或系统进行集成，实现更加智能化的监测和控制。然而，真空计也存在一些局限性，如某些类型的真空计易被污染、测量范围相对较窄等。因此，在选择和使用真空计时，需要综合考虑其优缺点以及具体的应用需求。综上所述，真空计具有高精度、使用方便、稳定性能良好、测量范围广、多种测量原理、易维护以及小型化和集成化等特点。这些特点使得真空计在各个领域都有广泛的应用前景和发展潜力。上海皮拉尼真空计生产厂家电容真空计的测量精度受哪些因素影响？

热传导真空计：利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中，以一定加热电流通过装有热丝的规头，热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数，故热丝的温度随压强而变化。热传导真空计主要用于100~10^-1帕范围，采取特殊措施可扩大测量范围。不过，热传导真空计的指示不但和气体种类有关，而且易受热丝表面污染、环境温度等因素影响，故准确度不高，只作粗略的真空指示用。粘滞真空计：利用在真空中转动或振动的物体受气体分子阻尼作用而发生运动衰减的现象来测量气体压强。气体分子的阻尼力与压强有关。实际使用的粘滞真空计主要有磁悬浮转子真空计和振膜真空计。磁悬浮转子真空计利用可控磁场把不锈钢球悬浮在真空中，用旋转磁场把钢球加速到400转/秒，然后停止加速，任其自然衰减，用电子学方法精确测量其转速衰减率，从而确定压强。这种真空计具有很高的测量精度，吸气、放气速率小，压强指示受气体种类影响小，如钢球表面镀金则可在较恶劣的气氛下工作。然而这种真空计在高真空端的读数受振动影响较大，测量时间也较长。因此，它可作为1~10^-4帕范围内的副标准真空计或用作标准传递真空计。

皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳，内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路，并负责信号放大和信号数字化的工作。根据测量方式的不同，皮拉尼真空计可以分为定电流式和定电压式两种：定电流式：在这种方式中，通过加热灯丝的电流保持恒定。当真空压力改变时，灯丝的温度会发生变化，从而导致灯丝的电阻值发生变化。这种电阻变化可以通过惠斯通电桥来测量，并转换为真空压力值。定电压式：在这种方式中，加热灯丝上的电压保持恒定。当真空压力变化时，灯丝的温度和电阻值也会相应变化。通过测量通过灯丝的电流变化，可以间接测量真空压力。真空计校准后为什么不准了？

应用领域工业真空系统：用于监测真空泵和真空腔室的压力。实验室研究：用于各种真空实验。真空镀膜：确保镀膜过程在所需真空度下进行。食品包装：用于真空包装机的压力监测。选型与使用量程选择：根据测量需求选择合适的量程。环境适应性：考虑温度、气体种类等因素。安装与维护：正确安装并定期校准和维护。常见问题零点漂移：定期校准以减少误差。污染影响：保持传感器清洁，避免污染。温度影响：注意环境温度变化对测量的影响。总结皮拉尼真空计以其宽量程、快速响应和低成本等优点，在多个领域有广泛应用。正确选型和使用能确保其长期稳定运行。皮拉尼真空计的测量原理和特点有？上海金属真空计

电容真空计通常适用于中低真空范围的测量，如从大气压到几千帕甚至更低。上海mems电容真空计

真空计与气体脱附效应材料放气（如橡胶释出H₂O）会导致测量值虚高。解决措施：①选用低放气材料（Viton替代橡胶）；②烘烤（150℃可加速脱附）；③分离测量（将规管安装在抽气口远端）。超高真空系统放气率需<10⁻¹⁰Pa·m³/s·cm²。18.真空计的电磁兼容性电离规的高压电源（2kV）可能辐射EMI，需屏蔽层≥60dB。MEMS规对RF场敏感，5GHzWi-Fi可能导致±5%读数偏移。航天级真空计需通过MIL-STD-461G标准测试。测量两个腔室压差，量程1~10⁻⁴Pa，精度±0.1%。应用包括检漏仪（氦质谱仪参考端压力监控）和分子泵前级压力控制。硅谐振式传感器（如横河EJA系列）温度稳定性达±0.1%FS/年。上海mems电容真空计