半导体制造业挥发有机气体防治研究
前言
半导体制造的过程除了会产生众多无机有害气体外,还容易产生大量的挥发有机污染物VOCs。这些有机污染物主要来源于清洗、刻蚀、沉积、镀膜、光刻、显影等频繁使用有机溶剂的工序。半导体生产制造过程中产生的VOCs污染物成分复杂,主要有各类烷烃、烯炔烃类、芳族化合物以及酮、醚类等。大量挥发性的有机污染物进入大气中不但会对自然生态造成巨大破坏,而且也对人们的身心健康产生严重威胁。现代半导体生产制造企业产能扩张,产生了大量工业废气进入大气环境,工业废气中难被自然界自净消除、对动植物危害的就是挥发性有机污染物(VOCs)。这些小分子有机污染气体通常化学性能活泼,具备极强的化学反应活性,非常容易与自然界中像臭氧、空气等发生反应,引发越来越严重的温室效应,深圳固定气体检测仪,长期来看甚至可能引发区域性乃至全球性环境危机。空气中的挥发性有机污染物也通过呼吸道进入人体内,不仅会对呼吸道造成损伤,同时也容易引起肝脏、肾脏的病变,长期吸入将增加致风险。因此,深圳固定气体检测仪,深圳固定气体检测仪,加强对半导体企业的监督管理,强化企业排放VOCs的治理极具社会意义。 四合一气体检测仪上的“EX”主要是指baozha下限的意思,主要用来测可燃气体用。深圳固定气体检测仪
气体检测仪如何实现定点安装?
气体检测仪实现定点安装的方法:
1、弄清所要监测的装置有哪些可能泄漏点,分析它们的泄漏压力、方向等因素,并画出探头位置分布图,根据泄漏的严重程度分成Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ三种等级。
2、根据所在场所的气流方向、风向等具体因素,判断当发生大量泄漏时,可燃气体的泄漏方向。
3、根据泄漏气体的密度(大于或小于空气),结合空气流动趋势,综合成泄漏的立体流动趋势图,并在其流动的下游位置作出初始设点方案。
4、研究泄漏点的泄漏状态是微漏还是喷射状。如果是微漏,则设点的位置就要靠近泄漏点一些。如果是喷射状泄漏,则要稍远离泄漏点。综合这些状况,拟定出终设点方案。这样,需要购置的数量和品种即可估算出来。
5、对于存在较大可燃气体泄漏的场所,气体检测仪根据有关规定每相距10—20m应设一个检测点。对于无人值班的小型且不连续运转的泵房,需要注意发生可燃气体泄漏的可能性,一般应在下风口安装一台检测器。
6、气体检测仪安装在可能有气体泄漏的区域中,气体探测器安装必须牢固,且安装位置根据被测气体相对于空气比重大小决定,因被测气体比重小于空气,c应安装在距顶棚30~60cm处。用φ8膨胀螺丝将探测器固定在墙壁上。
深圳可燃气体检测仪 便携式而特殊气体检测仪器价格则在几千上万不等。常见可燃有毒气体检测仪器的优点是性价比高,性能好。
工业领域气体检测仪主要检测哪些气体?
工业领域因为生产需求会用到各种各样的气体,常见的如氢气、氧气、氮气、氦气、氖气、氪气、氩气、氙气、氯气、一氧化碳等。工业气体是整个工业的基础,在国民经济中有着重要的地位和作用,广泛应用于冶金、石油、石化、化工、机械、电子、航空航天等诸多领域,工业气体在带来极大便利的同时,发生泄漏也会带来重大的事故隐患,因此在预防气体泄漏和超标预警环节的安防保障也尤为重要,气体检测仪可以有效针对有毒有害气体进行测量检测,当然装置气体检测仪的同事也需要了解气体检测仪的预警机制和预防措施.
佩戴的防护工具,保障人身安全
常见的有毒有害气体有一氧化碳、氨气、硫化氢、磷化氢等。有毒气体检测仪一般被安装在这类易泄漏的场所。如:一氧化碳在标准状况下为无色、无臭、无刺激性的气体,若浓度超标,轻则使人、无力、眩晕,重则使人深度昏迷,很快死亡。无论是哪种有毒有害气体,都能在短时间内对人体造成损害。所以,现场检定人员在检测过程中,应按照规定,携带经检测合格的便携式气体检测仪,并佩戴的防毒面具,保护自身的人身安全
半导体制造业挥发有机气体防治研究污染现状近几年,全国各地极端污染天气频发,长时间严重的雾霾天气严重影响人居环境,大气中的,空气质量每况愈下。这些灾害对人们的生活带来极大的不便,并且降低了城区居民的健康状况和生活幸福感。我国的环境问题主要来源于工业固废、废水及废气的过度排放。随着我国法律体系的日趋完善,工业固废和废水滥排情况由于容易查证追责,未经处理排放的现象已经逐渐减少。但是对于工业废气,尤其是对于那些挥发性有机污染物排放的法律规范相对欠缺。因此,大气环境治理和相关法律政策的完善迫在眉睫。当代社会人们的物质生活极大丰富,社会居民的消费水平不断增强,可以说现代化社会是建立在以半导体电子行业基础上的信息化社会,大家对于半导体电子产品的需求量激增,各类消费电子产品蓬勃发展。半导体制造业规模扩大,而在其制造过程中多个环节都涉及有机溶剂的使用,这就导致了生产集成电路半导体产品时挥发的高活性VOCs废气含量倍增。更加令人担忧的是,先期半导体制造企业野蛮生长,部分企业存在对有机污染物VOCs处理不到位的情况,生产制造过程使用大量有机溶剂的工序未做到密闭操作,这就造成大量有机溶剂挥发到空气中。对有机有毒有害气体(如芳香烃,卤代烃,氨,醚,酒精,脂肪等)可选用光离子多合一气体探测器。
气体检测仪的使用误区,你也在重复错误么?
气体检测仪在工业生产过程中,帮助工厂解决气体安全的问题。但它同时也是一个精密仪器,需要正确使用才能发挥应有的作用。我们在使用气体检测仪时,
误区一:一台气体检测报警器可检测任何气体一台检测仪只能检测一种特定气体。复合式气体检测仪也只能同时检测几类气体。
误区二:气体检测仪可以随意安装气体检测仪的安装位置是有严格要求的。安装位置不正确,也没办法正常检测。
误区三:气体检测仪周围只要有可燃气体或有毒气体,报警器就应该发出报警气体检测报警器报警的条件是待测气体浓度达到或超过了仪器的预设值才会发出报警信号,并不是有气体存在就会报警。
误区四:气体检测报警器自身防爆设施损坏不影响使用在使用过程中,时有报警器防爆密封件损坏、松动、防爆管破裂等防爆设施损坏而无人问津的现象。气体检测设备出现这些问题,要及时的维护修理。
误区五:验收时用高浓度气体测试有客户在验收时用高浓度气体进行测试,这种做法是非常不严谨且容易造成仪表损坏的。可燃气体检测仪的检测范围为0~100%LEL,我们使用高于这个浓度范围值的气体进行测试,很有可能会熏坏传感器,造成传感器损坏或检测不灵的情况!
具有记录存储,可设定好采样间隔时间,依据要求,自动记录现阶段浓度数据。深圳甲醛气体检测仪
平时保存过程中,气体检测仪要放置在低温干燥密封环境中,以延长使用寿命。深圳固定气体检测仪
国内外臭气浓度排放标准及管理
排放标准大多数国家和地区的臭气浓度标准用于污染管理指导,规定臭气浓度标准的应用范围不尽相同。不同地区使用的臭气浓度由于测量方式差异导致单位不同:如澳大利亚使用OU、荷兰使用OUE/m3、美国使用D/T,韩国使用OC,而国际上对臭气浓度的定义是一致的,因此1OU=1OU/m3=1OUE/m3=1OC=1D/T。上海市《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016)规定的非工业区臭气浓度及氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚等组分浓度在国内均严。
恶臭在线监测系统集成
针对如何将臭气浓度及恶臭污染组分测准的问题,需要建立人工嗅辩与电子鼻等仪器相耦合的恶臭监测方法,在生活垃圾全流程处理环节通过通过离线与在线监测方法采集恶臭气体,将不同恶臭源的电子鼻测试数据驯化并建立模型,通过大数据模拟和机器学习,构建不同污染源对应的恶臭污染图谱,进行未知样品的定性和浓度定量。 深圳固定气体检测仪
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