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05
2025-12
星期 五
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上海mems电容真空计设备厂家 上海辰仪测量技术供应
真空计是用于测量真空系统中压力的仪器，具有多种特点，使其在不同应用中表现出色。以下是真空计的主要特点：1.宽量程适用：真空计可覆盖从低真空到超高真空的范围（如10^-1Pa到10^-10Pa）。多类型选择：不同类型的真空计适用于不
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2025-12
星期 五
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上海陶瓷真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应
2.热传导真空计热传导真空计通过气体热传导的变化来测量压力，适用于低真空和中真空范围。（1）皮拉尼真空计原理：利用加热丝的热量损失与气体压力之间的关系测量压力。测量范围：10⁻³Torr到10Torr。优点：响应快、成本低。缺点：
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2025-12
星期 五
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上海陶瓷真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应
皮拉尼真空计是一种基于热传导原理的真空测量仪器，用于低真空到中真空范围的测量。其工作原理是通过测量气体分子对热丝的热传导变化来确定压力。工作原理皮拉尼真空计的部件是一根加热的金属丝（通常是钨或铂），其工作原理如下：加热与热传导：金
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2025-12
星期 五
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上海金属电容薄膜真空计 上海辰仪测量技术供应
四极质谱仪（残余气体分析仪）通过质荷比（m/z）分析气体成分，结合离子流强度定量分压。质量范围1~300amu，检测限10⁻¹²Pa。需配合电离规使用，用于真空系统污染诊断（如检出H₂O峰提示漏气）。动态模式可实时监控工艺气体（如
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2025-12
星期 五
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上海陶瓷真空计供应商 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻²Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10Hz以
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