上海辰仪测量技术有限公司
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2026-01
真空泵异常噪音与振动的问题应当如何解决?真空泵运行时出现异常噪音或振动可能表明:轴承问题:轴承磨损或损坏会产生明显噪音,需更换轴承或调整轴承盖,适当减少润滑脂装量1。弹簧故障:弹簧变形或断裂会导致运转不稳定,需及时更换1。过滤网堵
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2026-01
超高真空测量技术10⁻⁶Pa以下需抑制规或磁悬浮转子规(SpinningRotorGauge)。后者通过转子转速衰减测压力,量程10⁻¹~10⁻⁷Pa,精度±3%,***测量无需校准。X射线极限(10⁻⁹Pa)是电离规的理论下限,
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2026-01
真空泵的工作原理真空泵通过机械或物理方式移除气体分子。旋片泵通过旋转叶片压缩气体排出;涡轮分子泵利用高速叶片撞击气体分子;低温泵则通过冷却表面吸附气体。干泵无油污染,适合洁净环境;扩散泵通过油蒸气喷射带走气体,需配合冷阱使用。选择
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2026-01
(1)真空计直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。***真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关,属于***真空计的有U型压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。(2)相对真空计一些气体压力有
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2026-01
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10Hz以
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2026-01
陶瓷薄膜真空计应用领域半导体制造:用于工艺过程中的真空度监控。真空镀膜:确保镀膜质量。科研实验:用于高精度真空测量。医疗设备:如电子显微镜、质谱仪等。优缺点优点:高精度、耐腐蚀、稳定性好、量程宽。缺点:成本较高,对安装和使用环境要
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