服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
01
2025-08
星期 五
-
上海金属电容薄膜真空计原厂家 上海辰仪测量技术供应
1.机械式真空计机械式真空计通过物理形变或液柱高度差来测量压力，适用于粗真空和低真空范围。（1）U型管压力计原理：利用液柱（如水或汞）的高度差测量压力。测量范围：通常为大气压到约1Torr（133Pa）。优点：结构简单、成本低。缺
-
01
2025-08
星期 五
-
上海高纯度真空计生产厂家 上海辰仪测量技术供应
8.复合真空计复合真空计结合多种测量技术，适用于从粗真空到超高真空的范围。原理：通常结合皮拉尼真空计和电离真空计。测量范围：10⁻¹⁰Torr到1000Torr。优点：测量范围广，适用性强。缺点：成本较高。应用：多功能真空系统。9
-
01
2025-08
星期 五
-
上海金属电容薄膜真空计生产厂家 上海辰仪测量技术供应
真空计后续维护定期检查：定期对真空计进行检查和维护，确保其处于良好的工作状态。清洁保养：定期清洁真空计的接口和气管，保持其清洁干燥。更换密封件：如果发现密封件老化或损坏，应及时更换以确保接口的紧密性。校准仪器：定期对真空计进行校准
-
01
2025-08
星期 五
-
上海高精度真空计供应商 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻²Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10Hz以
-
01
2025-08
星期 五
-
上海真空计设备供应商 上海辰仪测量技术供应
4.电容式真空计电容式真空计通过测量电容变化来间接测量压力，适用于中真空和高真空范围。（1）电容薄膜真空计原理：利用薄膜在压力作用下的形变引起电容变化来测量压力。测量范围：10⁻⁶Torr到1000Torr。优点：精度高、响应快。
推荐资讯