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2025-12
星期 六
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上海高质量真空真空泵维修原厂家 上海辰仪测量技术供应
常见故障诊断抽速下降或极限真空度不足可能原因：密封件老化（O型圈、轴封）、油污染/不足（油封泵）、内部磨损（旋片、转子）、进气口堵塞、真空系统泄漏。检查步骤：用检漏仪（如氦质谱仪）检测系统泄漏。检查油位和油质（浑浊或乳化需更换）。
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真空镀膜技术真空蒸发镀膜将材料加热至汽化，在基板上冷凝成膜；溅射镀膜用离子轰击靶材喷射原子。应用于眼镜防反射膜（MgF₂）、手机屏幕ITO导电膜。磁控溅射速率可达μm/min，膜层均匀性±1%。真空环境避免氧化，膜厚可控至纳米级，
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真空泵的工作原理真空泵通过机械或物理方式移除气体分子。旋片泵通过旋转叶片压缩气体排出；涡轮分子泵利用高速叶片撞击气体分子；低温泵则通过冷却表面吸附气体。干泵无油污染，适合洁净环境；扩散泵通过油蒸气喷射带走气体，需配合冷阱使用。选择
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干式螺杆真空泵（DryScrewPump）原理：两根相互啮合的螺杆（转子）在泵腔内反向旋转，气体沿螺杆轴向被压缩并排出。无需油润滑，采用间隙密封。特点：极限真空：10⁻²~10⁻³Pa。无油污染，适用于洁净环境（如半导体、制药）。
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真空计的基本分类真空计按测量原理分为***真空计（直接测量压力）和相对真空计（需校准）。主要类型包括机械式（如波登管）、热传导式（皮拉尼计）、电离式（热阴极/冷阴极）、电容式（MEMS）等。选择时需考虑量程（如皮拉尼计适用于1Pa
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