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2025-12

星期 六

上海mems皮拉尼真空计设备供应商 上海辰仪测量技术供应

真空计的主要特点:1.多种测量原理真空计有多种测量原理,如电容式、电离式、热传导式等。不同的测量原理具有不同的特点和适用范围,用户可以根据具体需求选择合适的真空计。2.易维护一些真空计的设计使得其易于维护和校准。例如,有些真空计的

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2025-12

星期 六

上海大气压真空计 上海辰仪测量技术供应

真空测量就是真空度的测量,而真空度(详细注释见前文:知识分享②|真空如何获得?)是指低于大气压力注释的气体稀薄程度的物理量。通常,将用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。注释:大气压力:通常指一个标准大气压,压强的单位

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2025-12

星期 六

上海金属真空计多少钱 上海辰仪测量技术供应

真空计与气体脱附效应材料放气(如橡胶释出H₂O)会导致测量值虚高。解决措施:①选用低放气材料(Viton替代橡胶);②烘烤(150℃可加速脱附);③分离测量(将规管安装在抽气口远端)。超高真空系统放气率需<10⁻¹⁰Pa·m

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2025-12

星期 六

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超高真空测量技术10⁻⁶Pa以下需抑制规或磁悬浮转子规(SpinningRotorGauge)。后者通过转子转速衰减测压力,量程10⁻¹~10⁻⁷Pa,精度±3%,***测量无需校准。X射线极限(10⁻⁹Pa)是电离规的理论下限,

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2025-12

星期 五

上海电容薄膜真空计设备供应商 上海辰仪测量技术供应

真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10Hz以

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